- 一种蒸镀坩埚及蒸发源装置制造方法及图纸
当前位置:首页专利查询京东方科技集团股份有限公司专利正文
本发明专利技术实施例提供一种蒸镀坩埚及蒸发源装置,涉及蒸镀技术领域,相对现有技术既可避免蒸镀过程中余留在坩埚主体底部的待蒸镀材料因多次循环加热而劣化变质,又能够尽可能的防止蒸镀过程中出现的喷溅现象。该蒸镀装置包含:外坩埚和内坩埚,所述内坩埚嵌于所述外坩埚内;所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖;所述第一上盖设有出射孔;所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖;所述内坩埚主体的侧壁底端设置有多个第一通孔;其中,所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。用于显示面板的制造。
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)器件具有制作流程与工艺简单、颜色可调、功耗低等诸多优点,在显示和照明领域都是开发与投资的热点。随着OLED显示器件的用途愈加广泛,其制作流程与工艺也日趋成熟。当前,OLED器件常用的制作的过程包括蒸镀、喷墨打印、热传印等多种方式。在这些制作的过程中,蒸镀方式是一种很成熟的方法,且已经运用于量产。如图1所示,传统蒸镀坩埚包括坩埚主体10和盖在坩埚主体10的开口处的上盖20;坩埚主体10用于盛放待蒸镀材料30;上盖20设有出射孔。其蒸镀原理为:通过对蒸镀坩埚加热使待蒸镀材料30加热到一定温度发生蒸发或升华,从出射孔射出,从而凝聚沉积在待镀膜的基板表明产生薄膜。然而,在生产的全部过程中,一方面,为了更好的提高生产效率,通常会在坩埚主体10内加入较满的待蒸镀材料30,因而有可能会出现蒸镀材料30从出射孔向外喷溅的现象;另一方面,如图2所示,为了能够更好的保证待蒸镀材料30量不多时也能维持稳定的蒸发速率,通常会选择在坩埚主体10的底部余留约10%的待蒸镀材料30,

一种蒸镀坩埚,其特征是,包括外坩埚和内坩埚,所述内坩埚嵌于所述外坩埚内;所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖;所述第一上盖设有出射孔;所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖;所述内坩埚主体的侧壁底端设置有多个第一通孔;其中,所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。
1.一种蒸镀坩埚,其特征是,包括外坩埚和内坩埚,所述内坩埚嵌于所述外坩埚内;所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖;所述第一上盖设有出射孔;所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖;所述内坩埚主体的侧壁底端设置有多个第一通孔;其中,所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。2.依据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征是,所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间还设置有导热板,所述导热板与所述内坩埚和所述外坩埚接触;其中,所述导热板上设置有多个第二通孔。3.依据权利要求2所述的蒸镀坩埚,其特征是,所述导热板和所述外坩埚主体、所述内坩埚主体的材料相同。4.依据权利要求1-3任一项所述的蒸镀坩埚,其特征在...
