- 全球创始!九峰山实验室在氮极性氮化镓资料制备范畴获得新打破
近来,九峰山实验室科研团队初次在全球完成了8英寸硅基氮极性氮化镓(N-polar GaNOI)高电子迁移率资料的制备。这一效果将推进射频前端等体系级芯片在频率、功率、集成度等方面的提高,为下一代通讯、无人驾驶、雷达勘探、微波能量传输等前沿技能开展供给有力支撑。

氮化镓晶体结构的极性方向对器材功用和使用有重要影响,大致上能够分为氮极性氮化镓和镓极性氮化镓两种相反的极化类型。已有研讨标明,在高频、高功率器材等范畴,氮极性氮化镓比传统的镓极性氮化镓技能优势更显着。但由于苛刻的资料成长条件、高度杂乱的工艺等瓶颈限制,现在世界上仅有少量顽固可小批量出产2-4英寸氮极性氮化镓高电子迁移率衬底资料,且本钱贵重。
九峰山实验室此技能效果,是全球初次在8英寸硅衬底上完成氮极性氮化镓高电子迁移率功用资料(N-polar GaNOI)制备,打破了世界技能独占。首要打破体现在:一是本钱操控,选用硅基衬底,兼容8英寸干流半导体产线设备,深度集成硅基CMOS工艺,使该技能能敏捷适配量产工艺;二是资料功用提高,资料功用与可靠性兼具;三是良率提高,键合界面良率超 99%。这些打破为该资料大规模工业化奠定了重要根底。
氮极性氮化镓资料在高频段(如毫米波频段)的功用很超卓,这对需求高频操作的范畴来说十分重要,5G/6G通讯、卫星通讯、雷达体系等范畴都有望从中获益。一旦打破量产技能临界点,氮极性氮化镓资料将在以上范畴拓荒新的使用场景,对工业高质量开展起到改造性推进效果。
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