氮化硅
  • 启明光子请求铌酸锂氮化硅集成器材及其制备办法专利取得较好的光学耦合功能
来源:米兰体育网页版    发布时间:2025-12-26 17:56:42
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  国家知识产权局信息数据显现,启明光子(北京)科技有限公司请求一项名为“一种铌酸锂氮化硅集成器材及其制备办法”的专利,揭露号CN121209004A,请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现,本发明揭露的一种铌酸锂氮化硅集成器材的制备办法,包含如下过程:S1、制备铌酸锂调制器,所述铌酸锂调制器中包含铌酸锂波导和调制电极、热电极、铌酸锂键合电极;S2、制备氮化硅芯片,所述氮化硅芯片中包含氮化硅波导,在所述氮化硅芯片上完结电极键合区域开窗并制造氮化硅键合电极;S3、将所述铌酸锂调制器倒装装入所述氮化硅芯片的电极键合区域开窗结构内,键合后铌酸锂的电极信号经过氮化硅金属键合层导出;S4、低温键合所述铌酸锂调制器与所述氮化硅芯片。本发明经过在氮化硅芯片上刻蚀开窗后再倒装装入铌酸锂调制器的工艺可完成铌酸锂调制器和氮化硅芯片的高效集成,并取得较好的光学耦合功能及牢靠的电气衔接。

  天眼查资料显现,启明光子(北京)科技有限公司,成立于2024年,坐落北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本123.6364万人民币。经过天眼查大数据分析,启明光子(北京)科技有限公司共对外出资了2家企业,此外企业还具有行政许可1个。

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