氮化硅的结构 氮化硅晶体结构属六方晶系，一般分两种晶相：α-相和β-相，均由[SiN 4 ]四面体构成。在结构上，β-Si 3 N 4 对称性较高，摩尔体积较小，在温度上是热力学稳定相。而i 3 N 4 在动力学上较简单生成，高温（1400~1800℃）时，α-Si 3 N 4 会产生重建相变，转变成β-Si 3 N 4 ，这种相变是不可逆的，故α相氮化硅有利于烧结。

  氮化硅的结构 氮化硅晶体结构属六方晶系，一般分两种晶相：-相和-相，均由[SiN 4 ]四面体构成。在结构上，-Si 3 N 4 对称性较高，摩尔体积较小，在温度上是热力学稳定相。而i 3 N 4 在动力学上较简单生成，高温（1400~1800℃）时，-Si 3 N 4 会产生重建相变，转变成-Si 3 N 4 ，这种相变是不可逆的，故相氮化硅有利于烧结。